纳米，可以用于最小制程130纳米的芯片生产！”

“研发这款光刻机，进一步锻炼了我们团队的技术研发能力，同时也为duv干式光刻机的研发打下了坚厚的基础！”

“后续我们的主要工作就是进一步优秀改进现有的光刻机平台，同时整合研发光源系统，争取早日把duv干式光刻机做出来！”

“在光源上我们的兄弟公司南方光学的进展还是比较顺利的，他们已经对arf光源进行前期的测试了，明年大概率就能够搞出来初步的arf光源系统，而我们这边继续研发的话，整机系统有望明年年底拿出来！”

徐申学听罢后：“很好，继续努力做吧，希望明年年底能看到这个duv光刻机！”

“还是我之前说过，你们只管努力做，资金问题不用担心，供应链这边有什么欠缺报告上来，我会安排人处理！”

“只要东西做出来了，也不用担心没市场，集团那边会提供充足的订单！”

“就和之前的i-line光刻机以及现在的krf光刻机一样，你们只要搞出来更先进的duv干式光刻机，订单是不用担心的！”

这个时候，陪着徐申学一起过来的智云微电子的总经理丁成军也开口道：“之前我们已经累计下单了三十三台的i-line光刻机，你们这个krf光刻机如果通过我们的技术验收，价格方面也适合的话，今年内我们就可以给你最少二十台的订单！”

“这个krf光刻机我们智云微电子的需求量还是很大的，不仅仅先进生产线里要用，在一些八寸线上生产一百多纳米的产品也需要大量用到！”

“如果你们能够搞出来duv干式光刻机，那么订单就更多了，六十五纳米以及九十纳米制程，还是我们公司的主力制程，对duv干式光刻机的需求量极大！”

“然后duc浸润式光刻机的话，你们也要加快进度啊，这个光刻机太贵了，好几千万美金一台，你们早一点搞出来我们也能省点采购成本！”

听到丁成军这话，海湾科技的王道林却是面露难色！

光刻机问题，他们在i-line光刻机、krf光刻机上都没遇到什么问，因为国内已经有了成熟可用的供应链。

但是duv干式光刻机的话，那么问题可就比较大了，这玩意的arf光源可不好搞……但是就算不好搞，他多少还有点信心在最近两年内搞出来。

至于duv浸润式光刻机，说实话，王道林自己也不知道什么能搞出来。