浸润式光刻机的运行。

而智云微电子进口的duv浸润式光刻机，那可是相当多。

目前已经投入使用，以及算上已经到货，正在安装调试的duv浸润式光刻机，总量有六十三台。

对应的是智云微电子之前规划的月产十五万片十二寸晶圆的产能。

此外还有大量duv浸润式光刻机的订单，因为智云微电子还在修建更多的晶圆厂，正在持续提升产能，asml那边每年都要给智云微电子交付二三十台duv浸润式光刻机呢。

至于最后智云微电子能有多少进口的duv浸润式光刻机，一方面要看国外什么时候对智云进行制裁，另外一方面就要看海蓝科技的技术什么时候获得突破，自己搞出来duv浸润式光刻机了。

而这些进口的duv浸润式光刻机，海蓝科技也是具备对其进行基本维护的能力的，足以保障其运转。

因此，哪怕是极端情况下，智云微电子也用不着使用自家的duv干式光刻机去生产四十五纳米的芯片。

没那必要。

参加了智云微电子的第二期工程投产仪式后，徐申学干脆飞到了智云微电子的通城总部，去视察了智云微电子的先进制程研发团队，看看研发进度如何。

目前智云微电子，正在攻坚22纳米工艺，该工艺已经是目前最顶级的工艺技术了，几乎逼近了当下duv浸润式光刻机的物理极限，其研发难度是相当大的。

徐申学去看的时候，察觉到了研发团队的进度缓慢后，也是默默的调高了对工艺制程研发人员的科研系统名额的分配。

给他们套了个s级的科研名额。

目前徐申学手头上一共就只有两个s级的科研名头，之前只有一个的时候是芯片制造和半导体设备等重点项目里轮流使用。

如今徐申学又兑换了一个s级名额后，这样半导体制造以及半导体设备这两大领域里，就能够各自长时间使用一个s级的科研名额了。

这将会带来更大的科研效率的提升！

而除了s级科研名额外，徐申学实际上过去一年里还兑换了二十几个a级名额，而这些新增名额相当多一部分也用在了智云微电子或海湾科技里。

对这两大核心企业里的研发进度，徐申学一向来都是非常重视的。

至于其他企业里的研发项目，虽然也重要，但是暂时有少量a级名额顶着，带着一群b级以及c级也基本够用了。

至于高级的s级以及a级，徐申学则是更倾向于使用在核心的半导体领域里。

在智

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