团里一种采用四十纳米工艺的逻辑芯片，这一次试产的目的主要还是看良率，效率这些性能指标，至于光刻精度的话，之前我们已经进行了大量的测试，是完全能够满足我们的四十纳米工艺的光刻机精度的！”

“并且我们的光刻机也具备了二十八纳米工艺所需要的套刻精度，不过在一些技术指标上还有所欠缺，现阶段采用二十八纳米工艺的话，会导致生产成本的比较大幅度的上涨。”

“甚至理论上，我们这台光刻机，也能勉强用于十八纳米甚至十四纳米工艺的生产，只是成本就太高了，不具备实际商业价值！”

“目前我们微电子这边的规划是，前期采购的这款hduv-400型号，主要还是用于四十五、四十纳米乃至二十八纳米工艺的逻辑芯片，或者是部分四十纳米、三十纳米、二十五纳米工艺的储存芯片的生产！”

“这几个工艺节点上我们的订单也非常多，产能需求量大，足以给我们的400型光刻机起步订单了！”

“但前提是能够满足性能需求，不是勉强能用，而是要能大规模成熟使用，并成本可控，具备商业价值！”

此时王道林道：“精度问题以及成本控制问题，我们正在积极进行技术研发，以解决部分技术问题，这也是需要把设备拉到你们微电子这边来的原因，我们需要晶圆厂方面的大量测试和配合，然后才能够解决问题，提升良率，进行成本控制！”

丁成军道：“配合问题伱们这边不用担心，我们会积极进行各种技术配合的。”

王道林道：“给我们三个月时间，我们就能够解决这些问题，绝对是能够满足二十八纳米生产线的，丁总啊，来多几套订单啊！”

丁成军则是道：“只要你们能够解决问题，订单有的是，你们不用担心。”

王道林：“那说好了啊，这一批你保底得给我来个四十台的订单啊，不然我这边压力太大了，这光刻机研发每时每刻都在烧钱啊，没订单真顶不住！”

丁成军瞄了他一眼：“你真敢开口，一台duv浸润式光刻机几千万美金，你一张口就要四十台订单！”

说罢，丁成军却是又道：“不过，只要你能够把技术问题解决了，我还是那句话，订单有的是，四十台也不是问题！”

“这市场足够大，容得下你们四十台的订单！”

“不过，你们这个400型号还是差了些，套刻精度不太行，只有五点五纳米，用来搞二十八纳米工艺节点还可以，但是用来搞我们的十八纳米工艺乃至十四八米工艺，就差了些了！”

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