要是euv光源系统，高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统，还有超高精度的真空双工件台。”

“除了光刻机本身的技术外，我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司，研发euv掩膜版，沉积工艺等等。”

“而我们负责主导的euv光刻机研发上，目前光源系统的进度是比较快速的，我们之前获取了完整了euv所使用极紫外光光源的技术资料，而经过我们数年的反复尝试和试验，已经算是制造出来了极紫外光的光源！”

“但是距离实用性还有一定的差距，我们的激光部分问题不大，但是在激光轰击锡滴的频率还是不够，无法达到技术资料上所需要的每秒五万次。”

“我们已经针对这个技术难题牵头，进行了技术攻关，目前进展还算顺利，也许明年年中我们应该就能够把这个光源给搞出来！”

“还有则是光源的反射镜，因为极紫外光的特殊性，很多材料无法反射这种光线，而是会被吸收，因此我们还需要一种全新材料所制造的反射镜来反射这种极紫外光！”

“这部分工作主要由南方光学所承担，据我所知，他们已经尝试研发出来一种镜面材料，效果很不错，如今的难题是卡在了及镜面加工上，euv光刻机所需要的镜面精度，超过了duv光刻机镜面精度一个量级，他们正在和国内的几家科研所进行合作，准备搞这个镜面加工。”

“双工台的话，这个难度倒是稍微低一些，我们如今的双工台技术还是很不错的，哪怕直接套用也勉强可行，只是会浪费euv的13.5纳米的光源所带来的精度而已。”

“我们也正在开发精度更高，效率更高的双工台，为euv光刻机进行配套！”

“整体下来，我们的euv光刻机目前所遇到的技术难题还是比较多，光源系统和双工台系统都还算好，我们还是有把握的，不过这反射镜就不太好搞了。”

“毕竟按照南方光学的说法，他们搞的这反射镜系统，其精度几乎等同于从地球发射一道激光，然后准确命中月球上的一个足球，难度是相当大。”

“因为这个反射镜系统比较难搞，我们的euv光刻机的具体进度如何，也就要看这个反射镜系统什么时候能够搞出来了。”

说这话的时候，王道林也是挺无奈的！

他们海湾科技说起来厉害，搞的是光刻机……但是他们其实就是个组装厂，几乎不生产任何的核心零部件。

光刻机的核心零部件都是依靠仙女山控股体系下的其他兄弟公司或国内其他厂商所供应的。

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